对于浮游生物，臭氧在水中的溶解度达0.5—1ppm时，便能破坏藻类原生动物。对于小型软体动物，溶解度为2.2 ppm，处理时间为30分钟左右就能杀死98%的幼虫。在臭氧注入量为2.2—3ppm时，就能得到50%的杀藻效果。
当臭氧投加量为2.08 mg／l时，对浮游动物的杀灭率达95％以上。当臭氧投加量为4.17 mg／1 时，对浮游动物的杀灭率高达100% 。
2、小型臭氧发生器对浮游植物的作用
当臭氧投加量为1.2mg／l时灭藻率为31—36%，臭氧投加量为2.08mg／1时灭藻率达50%以上，臭氧投加量为4.17mg／1时灭藻率可达89％左右。
3、小型臭氧发生器对不同种类浮游植物的作用
臭氧对不同种类的浮游植物的杀灭作用是不同的，对金藻的杀灭效果最好，硅藻次之，蓝绿藻最差。
臭氧对浮游植物的杀灭作用不但与其种类有关，而且还受其绝对数量的直接影响。藻类的绝对数量大，则需臭氧投加量加大。
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