臭氧由于易分解不能像氧气那样生产后储存在钢瓶内备用，只能边产生边使用。产生臭氧的设备即为臭氧发生器，目前应用的臭氧发生器多是利用交变高压电场产生电晕放电使空气中的部分氧气O2分解、聚合为臭氧O3的。
空气、物品杀菌消毒选用“开式”发生器，它结构简单，使用方便。产生臭氧浓度较低，不需再扩散稀释。臭氧产量规格，德国生产臭氧发生器厂家DEMAG推荐如表5
根据多年实践经验，间断使用臭氧，食品加工车间按500m3空间选用一台3g/h产量臭氧发生器;果蔬贮藏库1000m3库容选用一台15g/h产量臭氧发生器;冷库消毒要求浓度高，可集中多台发生器连续开机48小时以上。
作水处理应用应选择标准型发生器，由于水-气接触时间短，要求臭氧浓度达到10mg/L以上。因此标准型发生器要有空气干燥处理系统，结构复杂。矿泉水、饮用水、食品加工用水均可按1m3水投加2.0～2.5g臭氧设计，按每小时处理水量选择发生器规格即可。
由于臭氧比空气重，开式发生器臭氧出口应选在高处，使臭氧自上而下扩散浓度比较均匀。一个车间装多台发生器时，应注意布置使臭氧浓度均匀，同时离门远一点
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